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“中国芯”关键材料国产化

前驱体材料

光刻胶及配套材料

氯代叔丁烷（TBCl）

氯代叔丁烷（TBCl）

英文名: 2-Chloro-2-methylpropane (简称TBCl）
熔点: -25℃
沸点: 51-52℃
蒸气压: 0.32kPa(20℃)
存储温度：安全温度≤45℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

1-己烯（Hexene)

1-己烯（Hexene)

英文名: 1-Hexene (简称Hexene）
熔点: -140℃
沸点: 60-66℃
蒸气压: 413.3 hPa （37.7℃）
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Electronic Grade

全氟癸基三氯硅烷（FDTS)

全氟癸基三氯硅烷（FDTS)

英文名: 1H,1H,2H,2H-Perfluorodecyltrichlorosilane(简称FDTS）
熔点: 无资料
沸点: 224℃
蒸气压: 无资料
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

1,2-二(三氯甲硅基)乙烷（BTCSE)

1,2-二(三氯甲硅基)乙烷（BTCSE)

英文名: 1,2-Bis(trichlorosilyl)ethane (简称BTCSE）
熔点: 28℃
沸点: 202℃
蒸气压: 0.492mmHg at 25℃
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

叔丁基膦（TBP）

叔丁基膦（TBP）

英文名: Tertiarybutylphosphine (简称TBP）
熔点: 4℃
沸点: 54℃
蒸气压: lgp(Torr) = 7.552-1529/T(K)
存储温度: 安全温度≤37℃
产品等级: Adduct

四氯化铪（HfCl₄)

四氯化铪（HfCl₄)

英文名: Hafnium(IV) chloride (简称HfCl₄）
熔点: 无资料
沸点: 46℃
升华温度：319℃
蒸气压: 1mm Hg(190℃)
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

三氯化铝（AlCl₃)

三氯化铝（AlCl₃)

英文名: Aluminium chloride
熔点: 194℃
沸点: 180℃
蒸气压: 133.3Pa(99℃); 13.3KPa(151℃)
储存温度：未体现
产品等级: Adduct

四（甲乙氨基）锆（TEMAZ）

四（甲乙氨基）锆（TEMAZ）

英文名: Tetrakis(Ethylmethylamino)Zirconium（简称TEMAZ）
熔点: 无资料
沸点: 81℃ (0.1hPa)
蒸气压: 1 Torr at 70℃
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

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