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2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷 (BNS)
中文名:2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷
英文名:2,2,4,4-Tetrasilylpentasilane
CAS号:1668602-96-7
纯度:≥98.0%
用途:在低温通过化学气相沉积(CVD)快速形成外延硅和多晶硅
规格:公斤级
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新戊硅烷(NPS)
中文名:新戊硅烷
英文名:Neopentasilane
CAS号:15947-57-6
纯度:≥99.0%
用途:在低温通过化学气相沉积(CVD)快速形成外延硅和多晶硅
规格:公斤级
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四氯化钛 (Ticl₄)
中文名:四氯化钛
英文名:Titanium tetrachloride
CAS号:7550-45-0
熔点:-25℃
沸点:135 - 136 °C
蒸气压:12.8 hPa 在 20 °C
产品等级:6N
规格:15kg
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四乙氧基硅烷 (TEOS)
中文名:四乙氧基硅烷
英文名:Tetraethoxysilane
CAS号:1978-10-4
熔点:-82.49℃
沸点:168°C
蒸气压:10.0 hPa 在 20℃
产品等级:9N
规格:17.7kg、35kg、200kg
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双(二乙氨基)硅烷 (BDEAS)
中文名: 双(二乙氨基)硅烷
英文名:Bis(diethylamino)silane
CAS号:27804-64-4
熔点:<-10℃
沸点:188℃
产品等级:5N
规格:10kg
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六氯乙硅烷(HCDS)
中文名:六氯乙硅烷
英文名:Hexachlorodisilane
CAS号:13465-77-5
沸点:144 - 145.5℃
产品等级:6N
规格:13kg
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八甲基环四硅氧烷 (OMCTS)
中文名:八甲基环四硅氧烷
英文名:Octamethyl cyclotetrasiloxane
CAS号:556-67-2
熔点:17-19℃
沸点:175-176℃
蒸气压:1 mmHg (21.7℃)
产品等级:7N5
规格:10kg、18kg、200kg
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四甲基硅烷 (4MS)
中文名:四甲基硅烷
英文名:Tetramethylsilane
CAS号:75-76-3
熔点:-99℃
沸点:26-28℃
产品等级:7N5
规格:10kg、20kg、110kg、125kg
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