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“中国芯”关键材料国产化

前驱体材料

光刻胶及配套材料

四（二甲氨基）钛（TDMAT）

四（二甲氨基）钛（TDMAT）

中文名：四（二甲氨基）钛
英文名：Tetrakis(dimethylamino)titanium
CAS号：3275-24-9
沸点：50℃
产品等级：6N
规格：800g、900g、1000g、2200g、9700g

三甲基镓（TMGA）

三甲基镓（TMGA）

中文名：三甲基镓
英文名：Trimethyl Gallium(简称TMGa）
熔点：-15.8℃
沸点：55.7℃
蒸气压：14.7kPa(10℃)
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级：Adduct、Semi

三甲基铟（TMIn）

三甲基铟（TMIn）

中文名：三甲基铟
英文名：Trimethylindium(简称TMIn）
熔点：88.4℃
沸点：133.8℃
蒸气压：lgP=(10.52-3014/T)×133.3224 ，T=（℃+273.15）K
存储温度：安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级：Adduct、Semi

三甲基铝(TMAl)

三甲基铝(TMAl)

中文名：三甲基铝
英文名：Tri-methyl Aluminium (简称TMAl）
熔点：15℃
沸点：127℃
蒸气压：lgP=(8.85-2323/T)×133.3224 ， T=（℃+273.15）K
存储温度：安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级：Adduct、Semi

二茂铁（CP₂Fe)

二茂铁（CP₂Fe)

英文名: BIS(CYCLOPENTADIENYL)IRON (简称CP₂Fe）
熔点: 173℃
沸点: 249℃
蒸气压: lgp(Torr) = 10.27-3680/T(K)
存储温度：安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

二乙基碲（DETe）

二乙基碲（DETe）

英文名: Diethyltelluride (简称DETe）
熔点: 无资料
沸点: 137℃
蒸气压: lgP(mmHg)=7.990-2093/T(K)
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Electronic Grade

四氯化碳（CCL₄)

四氯化碳（CCL₄)

英文名: Carbon tetrachloride (简称CCl₄）
熔点: -23℃
沸点: 76-77℃
蒸气压: lgP(mmHg)=8.05-1808/T (K)
存储温度：安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

四溴化碳（CBr₄）

四溴化碳（CBr₄）

英文名: Carbon tetrabromide (简称CBr₄）
熔点: 90℃
沸点: 190℃
蒸气压: lgP(mmHg)= 7.97-2347.7/T(K)
存储温度：安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Electronic Grade

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