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“中国芯”关键材料国产化

前驱体材料

光刻胶及配套材料

二异丙基碲（DIPTe）

二异丙基碲（DIPTe）

英文名: Diisopropyltelluride (简称DIPTe）
熔点: 无资料
沸点: 49℃(14torr)
蒸气压: lgP(mmHg)=8.290-2309/T(K)
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Electronic Grade

液态铟（LI）

液态铟（LI）

英文名: Indium source-liquid form
CAS号: NA
熔点: NA
沸点: NA
蒸气压: NA
存储温度: ≤51℃
产品等级: Adduct
规格: 50g/100g/150g/200g/350g

液态镁（LM)

液态镁（LM)

英文名: Magnesium source-liquid form
CAS号: /
熔点: 29-30℃
沸点: N/A
蒸气压: 0.25 Torr（23℃）
存储温度: ≤51℃
产品等级: Adduct
规格: 50g

三乙基硼（TEB)

三乙基硼（TEB)

英文名: Triethylborane (简称TEB）
熔点:-93℃
沸点: 95℃
蒸气压: 53 mbar（20℃）
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

氯代叔丁烷（TBCl）

氯代叔丁烷（TBCl）

英文名: 2-Chloro-2-methylpropane (简称TBCl）
熔点: -25℃
沸点: 51-52℃
蒸气压: 0.32kPa(20℃)
存储温度：安全温度≤45℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

1-己烯（Hexene)

1-己烯（Hexene)

英文名: 1-Hexene (简称Hexene）
熔点: -140℃
沸点: 60-66℃
蒸气压: 413.3 hPa （37.7℃）
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Electronic Grade

全氟癸基三氯硅烷（FDTS)

全氟癸基三氯硅烷（FDTS)

英文名: 1H,1H,2H,2H-Perfluorodecyltrichlorosilane(简称FDTS）
熔点: 无资料
沸点: 224℃
蒸气压: 无资料
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

1,2-二(三氯甲硅基)乙烷（BTCSE)

1,2-二(三氯甲硅基)乙烷（BTCSE)

英文名: 1,2-Bis(trichlorosilyl)ethane (简称BTCSE）
熔点: 28℃
沸点: 202℃
蒸气压: 0.492mmHg at 25℃
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级: Adduct

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